广东省科学技术奖由广东省科学技术厅主办并组织评选，是广东省科技成果领域最高荣誉，用于表彰为科技进步、经济社会发展作出突出贡献的单位与个人。该奖项每年申报项目达数千项，评审标准严苛、行业竞争激烈，2025年度整体获奖比例仅14%，一等奖优中选优，代表年度突破性原创技术成果与突出产业价值，奖项含金量极高。

项目依托成熟产学研协同创新体系，攻克高精度数字光刻系列核心技术瓶颈，自主研发LDI成套装备，依托本次项目研发积淀，研发团队面向下一代LDI装备完成关键技术重大突破，多项核心性能指标实现跨越式提升，在下一代数字光刻装备赛道形成全方位、系统性领先优势。